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COXEM EM-30台式扫描显微镜
产品简介:
EM-30高分辨多功能台式显微镜是COXEM公司成功的在EM-20基础上进行系统升级与拓展,将加速电压调节范围扩展到30KV,电压调节更为宽泛。尤其对于选配EDS的用户,分析能力获大幅提升;同时,EM-30还将帮助用户获得更高电子光学的分辨能力,有效放大倍数进一步提高;
EM-30的样品台增加了马达驱动倾斜台,由库赛姆[COXEM]NanoStation计算机导航自动操作,不但可实现立体的观察,而且通过对样品台精细地调节角度,可使用样品室SE探测器获得良好的背散射电子图像。
技术特点:
*自动高亮度电子枪,全数字化高压电源,0.5KV~30KV范围内随意调节;
*聚光镜精细控制 Spot size设置10档调节;
*圆锥形物镜,具有更高分辨性能;
*四孔可变光阑,分别用于高分辨观察和不同的分析目的。
*实时灰度直方图,自动亮度对比度;
*X Y T, 3轴自动样品台
*可选Bse探测器、低真空功能和能谱仪。
*COXEM NanoStation操作软件,内含丰富的图像编辑处理功能
技术指标:
键盘/鼠标
项目 | EM-30 |
外形尺寸 | 400(W宽) x 600(L长) x 550(H高)mm, 90kg |
分辨率 | 5.0nm @30KV SE |
10nm @30KV Bse | |
放大范围 | 20x ~ 100,000x |
加速电压 | 1KV ~ 30KV |
电子枪 | 发叉式钨丝阴极 |
探测器 | 二次电子探测器、BSE/EDS可选 |
EM-30 样品台 | X: 35mm (Motorized马达驱动), |
Y: 35mm (Motorized马达驱动), | |
T: 0 ~ 45o (Motorized) | |
R: 360°, | |
Z: 0 ~ 60mm | |
样品尺寸 | 45mm (高), 70mm (直径) |
真空系统 | 涡轮分子泵真空系统 |
自动功能 | 启动,聚焦, 灯丝, 亮度/对比度 |
操作系统 | Windows 7 |
操作方式 |
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