该机组以罗茨泵为主泵或中间泵，以旋片泵为前级泵串联而成。其结构紧凑，操作方便，真空度高。适用于抽除空气及其它无可凝性及无腐蚀性的气体；广泛应用于需要大抽速和极高真空的各种真空系统中。如：真空冶炼、电力电容器、变压器的真空浸渍处理、真空镀膜、真空冷冻升华干燥等工艺中。