一、真空机组工作过程
　　①吸气：阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。吸气过程即将开始时的转子位置。在这一时刻，这一对齿前端的型线完全啮合，且即将与吸气口连接。随着转子开始转动，由于齿的一端逐渐脱离啮合而形成了齿间容积，这个齿间容积的扩大，在其内部形成了一定的真空，而此齿间容积又仅与吸气口连通，因此气体便在压差作用下流入其中。在随后的转子旋转过程中，阳转子齿不断从阴转子齿的齿槽中脱离出来，齿间容积不断扩大，并与吸气孔口保持连通。随着转子的旋转，齿间容积不会再增加，在此位置与吸气孔口断开，吸气过程结束。
　　②压缩：阳转子沿顺时针方向旋转，阴转于沿逆时针方向旋转。此时气体被转子齿和机壳包围在一个封闭的空间中，齿间容积由于转于齿的啮合就要开始减小。随着转子的旋转，齿间容积由于转子齿的啮合而不断减小。被密封在齿间容积中的气体被占据体积也随之减小，导致压力升高，从而实现气体的压缩过程。
　　③排气：齿间容积与排气孔口连通后，即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出，封闭的齿间容积的体积变为零。
　　二、性能特点
　　1、工作腔内无润滑油存在，避免了因润滑油乳化、变质而出现的运行故障，提离了系统的稳定性，可获得清洁真空。工作腔及螺旋转子表面有防腐涂层，可适应恶劣的工况。
　　2、工作腔内无油气污染被抽气体，工艺性气体回收利用率髙，尾气处理方便，同时也避免了油气和油烟等的排放，环境污染小。
　　3、真空机组泵腔为间隙密封结构，对少置小联粒粉尘不敏感；采用防爆配置时可用于抽除易燃易爆的气体。
　　4、气体在泵腔内无压缩，泵工作时泵腔内温度达到1001以上，使可凝性气不易冷凝，且泵腔内为苴通结构，排气口在泵腔底部，杂物容易排出，因此适宜抽取可凝性气体。
　　5、泵腔内各零件采用间隙密封，零件间无接触摩擦存在，抽气效率离，可大大简化抽真空系统。
　　6、泵采用封闭式结构，避免了泵工作时因动密封磨损而出现的润滑油外漏现象。
　　12.真空机组结构合理，能适应多种维护、保养措施，对多种对泵有危害性的情况拥有相对应的处理方法，并可配置相对应的结构或附件，针对性强、维护效果好，操作简单，处理时间短，能更好地保证设备的正常运转。
　　13.转子均作级动平衡试验，运行时泵的振动小，启动快，启动电流小，启动时对电网的冲击小，启动后泵即达正常抽速。