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分子泵
Hipace10-800 | 产品优势 | 客户收益 |
| ■ 设计轻巧,可任意角度安装 | ■ 占用空间小,易于系统集成 |
■ 现场更换轴承 | ■ 保养维护频率低,节约成本 | |
■ 高可鎜度,耐用结构设计及轴承系统 | ■ 维护间隔长 | |
■ 高性能控制器,帮助快速启动 | ■ 缩短生产工艺时间 |
型号 | HiPace 10 | HiPace 30 | HiPace 60 | HiPace 80 | HiPace 300 | HiPace 350 | HiPace 400 | HiPace 450 | HiPace 700 | HiPace 800 |
抽速l/s | 10 | 32 | 64 | 67 | 260 | 300 | 355 | 380 | 685 | 790 |
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Hipace1200-2300 | 产品优势 | 客户收益 |
| ■ 特殊结构设计,可应用于高粉尘制程 | ■ 维护间隔周期长 |
■ 现场更换轴承 | ■ 节约成本 | |
■ 通讯接口多样化 | ■ 易于系统集成 | |
■ 通过集成控制器显示设备内传感参数 | ■ 安全等级高 |
型号 | HiPace 1200 | HiPace 1500 | HiPace 1800 | HiPace 2300 |
抽速 l/s | 1250 | 1400 | 1450 | 1900 |
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SplitFlow | 产品优势 | 客户收益 |
| ■ 取代多个涡轮分子泵 | ■ 极大地降低成本 |
■ 基于整体式设计降低3件数量, ■ 极大地提高了设备的稳定性及维护保养的速度 | ||
■ 可在现场更换滚珠轴承 | ■ 与系统紧密结合 | |
■ 独立的机械和真空设计 | ■ 充分满足客户定制化需求 |
分子泵型号 | 抽速 l/s | 启动压强 hPa | 极限压力 | 启动时间 | ||
氮气 | 氦气 | 氢气 | 氮气 | hPa | min | |
SplitFlow™ 50 | 53 | 27 | 21 | 20 | < 4X10–7 | 1.3 |
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Hipace300-800M ATH500M | 产品优势 | 客户收益 |
| ■ 高效的磁悬浮技术以降低能耗 | ■ 运营成本低 |
■ 全磁悬浮系统 | ■ 免维护,使用寿命长 | |
■ 低振动,低磁场 | ■ 为您的工艺提供高可鎜性 | |
■ 智能控制器可控制转速 | ■ 无需加装控制阀门 |
型号 | HiPace 300 M | ATH 500 M | HiPace 700 M | HiPace 800 M |
抽速 l/s | 255 | 550 | 685 | 790 |
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ATH1600-3204M ATP2300M | 产品优势 | 客户收益 |
| ■ 磁悬浮 | ■ 免维护,使用寿命长 |
■ 智能传感器和电器设计 | ■ 操作安全性高 | |
■ 可自由调整转子转速 | ■ 针对生产工艺提供**方案 | |
■ 可任意角度安装 | ■ 易于系统集成 |
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