力信达硅碳负极流化床气相沉积炉_报价-江西力信达高新装备有限公司

硅碳负极流化床气相沉积炉

品牌：力信达
产地：江西赣州
关注度：1149
型号：LHC-20
报价：面议
信息完整度：

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核心参数

温控精度：±5
最高温度：1050
额定温度：800
非金属电热元件：其他
金属电热元件：铁铬铝丝
烧结气氛：其他

展位推荐

产品介绍

一、设备简介

碳基前驱体添加到流化床沉积炉内，通入高温气体，硅烷高温裂解，沉积在多孔碳的表面，得到包覆改性物料，相比传统CVD炉气固相接触充分，包覆硅时包覆层比传统工艺更均匀，反应区的温度控制均匀，温度精度一致性更好。

二、技术参数

1. 载气：N2、H2、Ar

2. 反应气体:CH4、C2H2、C3H6、SiH4等

3. 每批处理量： 10kg≤Q≤150kg

4. 操作温度： ≤800℃

5. 操作压力： ≤10Kpa

6. 卸料温度： ≤200℃

7. 氧指数： ≤50ppm

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工商信息

企业名称

江西力信达高新装备有限公司

企业类型

信用代码

913607005761487105

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注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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