天津市拓普仪器有限公司(天津市光学仪器厂)
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椭圆偏振测厚仪
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天津
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仪器简介:

在近代科学技术的许多领域中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此,更加精确和迅速的测定给定薄膜的光学参数已变得更加迫切和重要。在实际工作中可以利用各种传统的方法测定光学参数,如:布儒斯特角法测介质膜的折射率,干涉法测膜厚,其它测膜厚的方法还有称重法、X射线法、电容法、椭偏法等。由于椭圆偏振法具有灵敏度高、精度高、非破坏性测量等优点,因而,椭圆偏振法测量已在光学、半导体、生物、医学等诸多领域得到广泛应用。

技术参数:

规格与主要技术指标:

测量范围:薄膜厚度范围:1nm-300nm; 折射率范围:1-10

测量*小示值:≤1nm 入射光波长:632.8nm

光学中心高:80mm 允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm

偏振器方位角范围:0°- 180°读取分辨率为0.05°

测量膜厚和折射率重复性精度分别为:±1nm和±0.01

主机重量:25kg 入射角连续调节范围:20°- 90°精度为0.05°

主要特点:

仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及方便测量等特点;

光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高;

仪器配有生成表、查表以及精确计算等软件,方便用户使用。

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