北京卓立汉光仪器有限公司
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3D形貌测试仪鹰眼系列
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北京
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产品简介

随着半导体技术的电子技术工艺的发展,电子产品都往小型化,轻薄化发展。iWatch的一经推出,穿戴电子产品成为了一个新的电子设备应用潮流。随着电子产品的小型化,器件体积越做越小,空间就紧凑起来,这对器件加工尺寸及工艺的容差要求就越来越高。如何管控器件的尺寸及加工工艺对检测手段提出了新的挑战。原来很多制程工序只要管控2D的尺寸,现在需要管控3D的尺寸,而且精度要求都在微米级别,这就需要一个高速、高精度的测量手段来管控生产品质。

卓立汉光的3D形貌测试仪应运而生,这款仪器采用非接触式线光谱共焦快速扫描技术,能够高精度还原产品的3D结构,对肉眼不可见的结构缺陷都能准确检测。因为具有较快的扫描速度,微米级别的精度和超强的稳定性,一经推出立马成为精密生产商的新宠。在精密精密点胶、3D玻璃,半导体缺陷检测和多层光学薄膜厚度检测,就是这款产品的主要应用领域。

卓立汉光长期专注于光谱技术的应用研发,3D形貌测试仪就是常年实践积累的成果(利号:CN207556477U)。该项技术,具有以下优点:

技术

线性共焦光谱技术

点测技术

激光扫描

3D相机

速度

1000 line/s

1000 point/s

1000 line/s

多角度拍照快

扫描宽度

6.5mm/20mm

可选

分辨率

1um

1um

30um

100um

界面层数

多层

多层

表面

表面

建模

数据量

鹰眼系列3D形貌测试仪主要特点有:

1、非接触性测量;

2、线扫描,高效率;

3、微米级精度;

4、满足透明面及高对比度表面测试;

5、支持二次开发;

鹰眼系列3D形貌测试仪主要应用

1、精密部件3D尺寸及段差测试;

2、精密点胶胶线截面、胶线宽度、胶线高度测试;

3、3D玻璃缺陷检测;

4、半导体表面缺陷测试;

5、多层薄膜厚度测试;

3D形貌测试仪产品型号及规格

HawkEye-1300

HawkEye-5000

方式

共焦光谱

共焦光谱

精度

1um

8um

重复性

±0.3um

±4um

线扫宽度

6.5mm

20mm

Z轴量程范围

1.3mm

5mm

扫描速度

300line/s(Max:1000line/s)

300line/s(max:1000line/s)

重量

5Kg

8Kg

尺寸

460X300X140mm

460X300X140mm

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