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日立高新技术公司于2016年4月15日在全球发布了新型扫描电子显微镜——FlexSEM 1000。该产品结构紧凑，占地面积小，但分辨率不输大型电镜，同时操作极其简便，几乎不用培训就可操作。紧凑型设计，分辨率为4 nm。
扫描电子显微镜可对材料的表面进行高倍率观察及高精度元素分析，在纳米技术、生命科学、产品设计研发及失效分析等领域有着广泛的应用。 近年来，扫描电镜观察表面精细结构及元素分析的需求日趋增加，而越来越多的用户希望能在生产线、品保检验线和办公区等有限的空间里使用扫描电子显微镜。因此，体积小、操作简便、分辨率高的扫描电子显微镜备受关注。FlexSEM 1000主机宽450mm、长640mm，相比SU1510型号体积减小52%，重量减轻45%，功耗减小50%，且配备标准化的电源接口。主机与供电单元可分离，安装非常灵活。
FlexSEM 1000采用**设计的电子光学系统和高可靠性、高灵敏度的探测器，分辨率高达4nm。FlexSEM 1000有多种自动化功能，操作简便，即便是初次操作者也能快速拍出高质量图像。另外，新开发的导航功能「SEM MAP」可使用各种光学图片或电镜照片进行导航，一键就快速精准地切换至感兴趣的高倍率视野。
紧凑型VP-SEM FlexSEM 1000
(主机与供电单元可分离)
特点：
a. 通过高灵敏度二次电子探测器，背散射探测器，低真空探测器（UVD*2），实现低加速电压/低真空下高质量图像观察
b. 操作简捷，即使新手也能拍出高质量的图片
c. 新开发的导航功能「SEM MAP」，便于快速锁定视野
d. 大窗口（30 mm2）SDD能谱系统，便于快速分析元素成分*2
*1 设置在桌面时，分离主机和电源箱
*2 选配
| 项目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 分解能*3 | 4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式） 15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式） 5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式） | |
| 加速电压 | 0.3 kV ～ 20 kV | |
| 放大倍率 | 6× ～ 300，000× （底片倍率） 16× ～ 800，000× （显示倍率） | |
| 低真空模式 | 真空范围：6 ～ 100 Pa | |
| 电子枪 | 预对中钨灯丝 | |
| 样品台 | 3-轴自动马达台 X：0 ～ 40 mm， Y：0 ～ 50 mm， Z：5 ～ 15 mm R：360°， T：-15° ～ ＋90° | |
| **样品尺寸 | 直径80 mm | |
| **样品高度 | 40 mm | |
| 尺寸 | 主机：450（W） x 640（D） x 670（H） mm 供电单元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm | |
| 探测器选配 |
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