高精度，多用途的层流式质量流量计

■ 精度可达读数的 ±0.8%， 满量程的±0.2%;重现性为±0.2%

■ 可测量20种标准气体-根据显示可选

■ 流量在1 SCCM范围内1%~100%可调节，**量程可达1000 SLPM

■ 具有NIST追踪证书

这种流量计通过测量气体通过层流器（LFE）产生的压降来测量气体流量。 因为层流器已经

将气流分层，因此无需在流量计上再使用逆流或顺流直管，极大地简化了流量计的安装过程。

同热质量技术相比，LFE设计具有超短的反应时间（10毫秒以内），可直接使用而无需预热

等待。

使用显示屏周边环绕的连体键盘即可完成全部编程操作。 可通过0~5 VDC信号将流量值输

出到远程显示屏，记录仪或用于调节阀门/泵的控制器上。

流量控制器具有积分PID功能，可以随流量要求的变化而做出调节。 可使用键盘，可选的

设定控制模块，0~5V信号或RS-232输入信号进行流速设定。 设定控制模块订购信息见下

表。 订购使用下表中的电池包，可实现流量计便携式使用。

随机配备： 厂商提供的NIST追踪证书，120/230 VAC电源适配器，带通讯线。

参数

**颗粒尺寸 1 LPM以内的型号： 20 μm 1 LPM ~1000 LPM的型号: 50 μm

精度: 读数的±0.8%；±0.2% 满量程

重现性： ±0.2%

反应时间 流量计： 10 msec 流量控制器： 50 msec

使用温度: -10~50°C

**压力: 10 bar

压力降： 0.05~0.20 bar （流量计）

输出信号: 0~5 VDC， RS-232， 0~10 VDC

输入信号: 0~5 VDC， RS-232， 0~10 VDC

浸润部件 流量计： 302和303 SS， Viton®， 硅酮RTV，和玻璃强化尼龙，铝 流量控制

器： 302， 303 SS; Viton， 硅酮RTV， 玻璃强化尼龙， 铝， 黄铜， 410 SS， 硅， 玻璃。

流速范围质量流量计质量流量控制器设定控制模块?目录号目录号目录号0.01~1 mL/minTM-32908-51TM-32907-51TM-32907-830.05~5 mL/minTM-32908-53TM-32907-53TM-32907-850.1~10 mL/minTM-32908-55TM-32907-55TM-32907-870.5~50 mL/minTM-32908-57TM-32907-57TM-32907-891~100 mL/minTM-32908-59TM-32907-59TM-32907-912~200 mL/minTM-32908-61TM-32907-61TM-32907-935~500 mL/minTM-32908-63TM-32907-63TM-32907-970.01~1 LPMTM-32908-67TM-32907-67TM-32907-830.05~5 LPMTM-32908-69TM-32907-69TM-32907-850.1~10 LPMTM-32908-71TM-32907-71TM-32907-870.5~50 LPMTM-32908-73TM-32907-73TM-32907-891~100 LPMTM-32908-75TM-32907-75TM-32907-912.5~250 LPMTM-32908-77TM-32907-77TM-32907-955~500 LPMTM-32908-79TM-32907-79TM-32907-9710~1000 LPMTM-32908-81TM-32907-81TM-32907-99