进口品牌涡轮分子泵和无油隔膜泵的**配合产生一个洁净的<3*10-6 Torr的真空压强。特别适用于TEM 样品杆的真空存储、检漏和样品等离子体清洗用途。采用远程射频离子源清洗，高效、低等离子体轰击损伤。标配两路清洗气体流量控制器，触摸屏控制，即插即用。

SPC真空等离子清洗系统能够很好的活化TEM透射电镜用微栅碳支持膜，使之在短时间内（<10h）由疏水性变为亲水性。