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产品功能
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、共面性、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、 腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、蚀刻情况、弯曲变形情况、加工情况、材料支撑率等表面形貌特征进行 测量和分析。被测物体的尺寸通常不大于 150*100mm，更大尺寸的测量系统可以定做；工作台**承载重 量 40Kg。
产品广泛应用于汽车工业、航空航天、造纸工业、钢铁工业、薄膜加工、半导体加工、MEMS 等行业。
应用范围
* 机械密封的平面度和粗糙度测量；
* 电子元件表面的平面度、翘曲度和粗糙度测量分析；
* BGA 焊料球的共面性、封装是否变形以及所有的焊料球是否都存在的检查分析；
* 造纸行业对纸张表面的纹理分析；
* 膜片的厚度及涂层的高度测量等；
* 化学蚀刻产品的蚀刻深度和面积测量；
* 压花材料表面特征分析，如合成材料人造皮革表面形貌测量分析；
* 丝印装置涂层厚度测量，如电子产品和生物医疗器械等；
* 轧制铝膜和钢板表面情况进行三维分析；
* 法医学上三维表面形貌测量分析；
* 压电陶瓷部件的轮廓和表面形貌特征测量分析；
* 牙齿的腐蚀和磨损情况分析；
* 医学上如人造皮肤的轮廓分析；
* 沟槽深度和截面计算分析；
* 激光蚀刻表面的雕刻深度测量；
* 各种柔软材料、易腐蚀材料、传统接触方式无法检测的产品的表面形态测量和分析；
* 其他各种小型部件的平面度、粗糙度、波纹度和轮廓测量分析。
技术规范
扫描仪大尺寸（长*宽*高） | 740*542*（780-835）mm |
扫描仪**重量 | 40Kg |
电控部分尺寸 | 570*700*750mm |
电控部分重量 | 40Kg |
计算机显示器 | 15” LED 显示器 |
照明与定位摄像头（可选） | 14” CRT |
扫面平台尺寸 | 380*280mm |
X 和 Y 轴行程 | 150mm*100mm |
Z 轴行程 | 100mm |
电源 | 220 - 240 VAC， 50/60Hz |
使用环境 | 10-35℃ |
X 及 Y 轴扫描点*小间隔距离 | 1μm |
X 及 Y 轴扫描点*，大间隔距离 | 9.999mm |
标准配置扫描样品**重量 | 6Kg |
数据采集**速度（取决于传感器及设定） | 20000 点/秒 |
**扫描速度（取决于传感器及设定） | 80mm/秒 |
回程速度 | 100mm/秒 |
**扫描点数 | 576 万点 |
传感器选型方案
传感器 型号 | 垂直 测量范围 | 物镜测量距离 mm | 分辨率 | 线性度 （%+/-量程） | 技术 原理 |
S3/011 | 110μm | 3.3 | 5 nm | 0.1 | 白光色差技术 |
S11/03 | 300μm | 11 | 12 nm | 0.1 | 白光色差技术 |
S13/1.1 | 1.1 mm | 12.7 | 25 nm | 0.1 | 白光色差技术 |
S16/2.5 | 2.5mm | 16.4 | 75 nm | 0.1 | 白光色差技术 |
S29/10 | 10mm | 29 | 280 nm | 0.1 | 白光色差技术 |
S20/20 | 20mm | 19.6 | 600 nm | 0.1 | 白光色差技术 |
L25/2H | 2 mm | 25 | 0.1 μm | 0.05 | 三角测量技术 |
L35/10H | 10 mm | 35 | 0.5 μm | 0.03 | 三角测量技术 |
L50/20H | 20 mm | 50 | 1 μm | 0.03 | 三角测量技术 |
L70/50H | 50 mm | 70 | 2.5 μm | 0.03 | 三角测量技术 |
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