三重四极杆ICPMS，**重四极杆离子偏转器（QID，Quadruple Ion Detector）将离子与未电离物质分开，第二重四极杆通用池 (UCT， Universal Cell TechnologyTM) 将单原子离子与多原子离子干扰分开，第三重主四极杆将待分析的单原子离子依次分开进行检测。三重四极杆ICP-MS的性能是普通单级四极杆ICP-MS所无法企及的。