Film Sense FS-1™ 多波长椭偏仪采用寿命长 LED 光源和非移动 式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可 靠地薄膜测量。

大多数厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要简单的 1 秒测量，就 可以获得非常精密和准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常 数和其他薄膜特性。

FS-1 这款功能强大的多波长椭偏仪，售价只是单一波长椭偏仪

和光谱椭偏仪的中等水平。FS-1 可应用于研究实验室，超净间，原位工艺腔体以及工业质量控制等诸多领域

主要特点

? 4 个 LED 光源：蓝色（465nm），绿色（525nm）， 黄色（580nm），红色（635nm）

? 椭偏仪探测器中无可移动部件

? **的膜厚精密性，大多数样品精密度优于 0.001nm（1 秒获取数据），对于亚单原子薄膜精密度等于0.001nm

? 集成计算机，可实现对设备控制和数据分析，自带 浏览器界面，可兼容任何现代计算机，笔记本或平 板电脑

优势

? 寿命长（长达 50，000 小时），更换 LED 灯便宜，校准时 间短或无需 PM 程序

? 快速测量（10ms 内获得多波长数据）和长期性能稳定

? 测量精确，只有椭偏仪可以实现

? 软件设置和维护简单

标准 FS-1 配置

? 65°入射角

? 手动放置样品和调节高度

? 样品尺寸**直径 200mm 和厚度 23mm

? 样品偏转范围+/-20

? 样品上光束尺寸 5 x 12 mm

? 结构紧凑(180 x 400 mm) 和轻巧(4.8 kg)

性能

FS-1 多波长椭偏仪擅长测量膜厚范围 0-1000nm 的透明单一薄 膜的厚度和折射率。下表列出的是针对各种不同样品，包括多 层膜样品，FS-1 获得的标准测量精密度和准确性数据。