带空气轴承的PIglideAT3线性平台

产品概述

PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机，电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供让人满意的性能、质量和使用寿命。

高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至高速度，高承载能力轴承可支承重达60 公斤的有效载荷。该型号中的侧面相对、主动预载空气轴承设计可实现任意方向上的安装。

应用领域

PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。

由于无摩擦运动，因此不会形成颗粒，从而使平台成为无尘室应用的优先选择。

附件和可选配件

• 编码器

• PIglide过滤器和空气预处理器

• 单轴和多轴运动控制器

• XY装置和个性化配置

• 电缆轨道变型

• 用于垂直（Z）方向的配重选项

• 可提供定制版

• 花岗岩底座板和隔振系统