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检流计式扫描振镜Galvanometer Scanners
检流计式扫描振镜Galvanometer Scanners的单轴振镜扫描器的驱动为光学而设计的。其高性能特殊的动力结构是多年经验研究所改造。这些光学定位系统的特点是高分辨率,以及高重复性和稳定漂移值。即使在高压高功率环境条件下。SCANLAB扫描振镜通过温度调节而长期稳定运行。
SCANLAB 的振镜扫描器备有各种尺寸和配置。
1:只有dynAXIS ® 3T,3S,3M和3L
2:dynAXIS ®bbbb和T带镜夹块, dynAXIS ® 3 没有镜夹块
3:D-sub 插头各种的插座:dynAXIS ® 3T可用预热器,但dynAXIS ® XS和dynAXIS ® T不可用预热器
4:全刻度的1/1000,带推荐光斑大小的镜片 5:dynAXIS ® 3T大约100克
6:只有dynAXIS ® 3T,3M和3L,预设值 7:峰值,扫描角度从-11°到+11°
8:没有温度控制<5urad>和<25ppm>
轴承使用寿命长。高质量的 SCANLAB 的振镜扫描器,能长期连续的精确使用,适用各种各样的应用程序和常见波长。
型号参数 | dynAXIS ®, dynAXIS ® 3 (1) | ||||
XS | T | S | M | L | |
转动惯量 | 0.028 g·cm2 | 0.125 g·cm2 | 0.34 g·cm2 | 1.2 g·cm2 | 2 5.1 g·cm2 |
扭矩系数 | 2.3 N·mm/A | 5.3 N·mm/A | 7.5 N·mm/A | 15 N·mm/A | 24 N·mm/A |
线圈阻抗 | 3.9 Ω | 2.8 Ω | 2.7 Ω | 2.2 Ω | 0.85 Ω |
线圈电感 | 90 μH | 145 μH | 165 μH | 275 μH | 300 μH |
RMS电流 | 1.8 A | 2.2 A | 2.5 A | 3.5 A | 5 A |
峰值电流 | 6 A | 10 A | 10 A | 10 A | 15 A |
重量 | |||||
不带线缆 | 25 g. | 40 g (5) | . 220 g | 300 g | 400 g |
接插件 | |||||
不带预热器 | DE9M | DE9M | |||
带预热器 | DA15F | DA 15F | DA 15F | DA 15F | |
惯性负载 | |||||
推荐值 | 0.02 g·cm2 | 0.1 g·cm2 | 0.35 g·cm2 | 1.2 g·cm2 | 8 g·cm2 |
**值 | 0.05 g·cm2 | 0.5 g·cm2 | 1.5 g·cm2 | 6 g·cm2 | 25 g·cm2 |
镜片大小 | 7 mm | 8.5 mm | 10 mm | 14 mm | 20 – 30 mm |
动态特性 | |||||
阶跃响应时间1%FS | 0.17 ms | 0.19 ms | 0.25 ms | 0.35 ms | 0.55 ms |
一般参数 | ||
dynAXIS ® | dynAXIS ® 3 (6) | |
扫描角度 | ±12° | ** ± 20° |
位置探测器参数 | ||
线性度(7) | < 0.4 % | < 0.1 % |
零点漂移 | < 15 μrad/K | < 3 μrad/K (8) |
增益漂移 | < 50 ppm/K | < 12 ppm/K(8) |
重复精度 | < 5 μrad | < 5 μrad |
输出信号 | ||
微分模式 | 11 μA / ° | 10.5 μA / ° |
普通模式 | 140 μA | 110 μA |
电流 | 35 – 60 mA | max. 45 mA |
预热器 (3) | ||
预热器阻抗 | 120 Ω | |
温度探测器 | 1000 Ω at 25 °C | |
阻抗 | 578 Ω at 40 °C | |
预热器**电流 | 0.25 A | |
线缆长度 | 标准0.22m | |
安装 | 绝缘处理 | |
操作温度 | 5-50℃无冷凝 |
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