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FT-3110系列全自动四探针测试仪
一.功能描述：
四点探针法，全自动化运行测量系统，PC软件采集和数据处理；参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻；可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择；真空环境，可显示：方阻、电阻率、显示2D，3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件. 报表输出数据统计分析.
二.适用范围
晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等.
三.技术参数：
规格型号 | FT-3110A | FT-3110B |
1.电阻 | 10^-5～2×10^5Ω | 10^-6～2×10^5Ω |
2.方块电阻 | 10^-5～2×10^5Ω/□ | 10^-6～2×10^5Ω/□ |
3.电阻率 | 10^-6～2×10^6Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm |
4.测试电流 | 0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA， 10mA，100mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
5.电流精度 | ±0.1% | |
6.电阻精度 | ≤0.3% | |
7.PC软件操作 | PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、压力、 报表生成等 | |
8.压力范围： | 探针压力可调范围：软件控制，100-500g可调 | |
9.探针 | 针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3% 圆头铜镀金材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制 | |
10.可测晶片 尺寸选购 | 晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）； 方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm | |
11.分析模式 | 单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试 | |
12.加压方式 | 测量重复性：重复性≤3% | |
13.安全防护 | 具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报 | |
14.测试环境 | 真空 | |
15.电源 | 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W | |
16.选购项目 | 电脑和打印机 | |
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