世界**精度及强大功能Park原子力显微镜产品特性

Park XE15具备多个特殊功能，是共享实验室处理各类样品、研究员进行多变量实验、失效分析师研究晶片等的不二选择。合理的价格搭配强健的性能设置，使其成为业内性价比**的大型样品原子力显微镜。

MultiSample™（多重采样^TM）扫描器带来*便捷样品测量

- 多样品一次性自动成像

- 特殊设计的多样品夹头，*多可承载16个独立样品

- 全自动XY样品载台，行程范围达200 mm x 200 mm。

无轴间耦合提高扫描精度

- 两种独立闭环XY和Z平板式扫描

- 平板式和线性XY扫描可达100μm x 100μm，且残余压弯小

- 整个扫描范围内的异面移动小于2nm

- 强力扫描器达25μm Z扫描范围

- 精确的高度测量

Non-Contact™（真正非接触^TM）模式延长针尖使用寿命、改善样品保存及精度

- 其Z扫描频宽是压电管基础系统的10倍

- 非接触式可降低针尖磨损、延长使用寿命

- 成像分辨率高于同类原子力显微镜

- 降低样品干扰，提高扫描精度

提供**用户体验

- 开放式侧面接入，提高样品及针尖更换效率

- 预对准的针尖安装和****的轴上俯视法可简单直观地实现激光对准

- 燕尾锁封片方便镜头拆卸

- 界面带自动设置功能，方便用户使用

多种模式与选项

- 综合性测量模式及特性设置，是我司**通用型原子力显微镜

- 多种可选配件及更新，扩展性能优越

-? 为缺陷分析提供先进电气测量

* 产品特点

100um x 100 um扫描范围的XY柔‘性导向扫描器

XY扫描器含系统二维弯曲及强力压电堆叠，可使极小平面外移动形成较大的正交运动，并能快速响应，实现精确的样品纳米级扫描。

柔性导向强力Z扫描器

在强力压电堆叠的驱动及弯曲结构的引导下，其硬度允许扫描器高速竖直运动，较传统原子力显微镜扫描器更加高速。**Z型扫描范围搭配远程Z扫描器（选配）可延长12μm至25μm。

滑动连接的超亮二极管头

通过将原子力显微镜头沿楔形轨道滑动，可轻松将其插入或取出。低相干的超发光二极管头可实现高反射表面的精确成像和力-矩光谱的精确测量。超亮二极管头的波长帮助减轻干扰问题，因此用户在可见光谱实验中也可使用本产品。

多样品夹头

特殊设计的多样品夹头，做多可承载16个独立样品，由多重采样扫描器自动按顺序扫描。特殊的夹头设计为接触样品针尖预留了边通道。

选配编码器的XY自动样品载台

自动集成XY载台可轻松并精确控制样品的测量位置。XY样品载台的行程范围可配置为150 mm x 150 mm或200 mm x 200 mm。若搭配自动载台使用编码器，可提高样品定位的精确度和重复性。编码XY载台工作时分辨率为1 μm，重复率为2 μm。编码Z载台的分辨率为0.1 μm，重复率为1 μm。

高分辨率数码变焦感光元件摄像头

高分辨率数码感光元件摄像头利用直接同轴光学，具备变焦功能，无论是否摇摄均可确保图像具有清晰的成像质量。

垂直对齐的自动Z载台及聚焦载台

Z载台和聚焦载台可将悬臂啮合到样品表面上，同时确保用户视野清晰稳定。聚焦载台是由软件控制自动运行的，因此满足透明样品及液态元件应用所需精度。

弯曲基底解耦XY和Z扫描器

Z扫描器与XY扫描器完全解耦。XY扫描器在水平面上移动样品，同时Z扫描器竖直移动探针。

此配置以*小异面移动，实现了平板式XY扫描。此XY扫描同时还具有高正交性与线性。

业内*低本底噪声

为探测*小样品的特性，帮助*快运动平面成像，Park Systems设计了业内0.5?以下的*低本底噪声标准设备。使用“零扫描”探测本地噪声数据。

真正非接触模式延长针尖使用寿命

XE系列原子力显微镜已成功搭配**强力Z扫描系统独有的真正非接触模式。真正非接触模式下，使用的是相吸而非相排斥的内部原子力。

真正非接触模式因此成功地保持了针尖样品纳米级间距，改善了原子力显微镜图像，保持针尖的锐利，因此有效延长了针尖使用寿命。

预对准悬臂支撑

预先安装在探针支撑上，因此不需要严格对齐激光束。

高分辨率的直接同轴光学元件

用户可直接俯视观看样品，操控样品表面，从而很容易就能找到目标区域。高分辨率数码摄像头具备变焦功能，无论是否摇摄均可确保图像具有清晰的成像质量。

带DSP控制芯片的XE控制电子元件

原子力显微镜发出的纳米级信号将由高性能Park XE电子元件控制并处理。Park XE电子元件为低噪声设计，配备高速处理单元，可成功实现真正非接触™模式，是纳米级成像及电压电流精准测量的理想选择。

- 600 MHz、4800 MIPS速度的高性能处理单元

- 低噪声设计，适合电压电流精准测量

-通用系统，各SPM技术均可得到应用

- 外部信号接入模块，存取原子力显微镜输入/输出信号

- *多16个数据成像

- **数据尺寸：4096 x 4096像素

- 16位ADC/DAC，速度达500 kHz

- TCP/IP连接，隔离计算机接出电噪

技术参数：

扫描器： XY扫描器 Z扫描器

闭环控制的单模块挠性XY扫描器 导向强力Z扫描器

扫描范围：100 μm * 100 μm 扫描范围：12 μm

25μm（选配）

样品台： XY台工作范围：150 mm * 150 mm

Z台工作范围：27.5 mm

聚焦台工作范围：20 mm

影像： 1 样品基底

样品表面和悬臂的直观同轴影像 样品**尺寸：150 mm

10倍物镜（选配20倍） 样品**厚度：20 mm

视野： 480 μm *360 μm （10倍物镜）

摄像头：1M Pixel， 5M Pixel (选配）

软件： XEP XEI

系统控制和数据采集的专用软件 AFM数据分析软件

实时调整反馈参数

通过外部程序（选项）进行脚本级控制

售后服务：

为了给客户提供高效便捷的售后服务， Park公司在中国区建立有售后服务中心并配有备件仓库。