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产品简介
产品特点：
? 400波长以上多通道分光的椭偏仪，高速测量椭圆偏光光谱。
? 自动变更反射测量角度，可得到更详细的薄膜解析数据。
? 采用正弦杆自动驱动方式，展现测量角度变更时优异的移动精度。
? 搭载薄膜分析所需的全角度同时测量功能。
? 可测量晶圆与金属表面的光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
产品规格：
| 样品对应尺寸 | 100×100mm |
| 测量方式 | 偏光片元件回转方式 |
| 入射/反射角度范围 | 45～90o |
| 入射/反射角度驱动方式 | 反射角度可自动变更 |
| 波长测量范围 | 300～800nm |
| 分光元件 | Poly-chrometer |
| 尺寸 | 650（H）×400（D）×560（W）mm |
| 重量 | 约50kg |
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