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岛津电子封装类专用氦质谱检漏仪MSE-4200S
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日本
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产品简介

MSE-4200S 电子封装类专用氦质谱检漏仪

岛津氦质谱检漏仪搭载了新型的CPU,采用专用的分流泵及中间排气系统,实现了**的低BG恢复性能和操作性。

产品信息

主要特点

  • 检出灵敏度:10-13-100Pa m3/s (He)

  • 保证生产节拍 6sec/c,BG:2.5X 10-10Pa m3/s (干燥氮排气时)

  • **的BG恢复性能和操作性

  • 大屏幕液晶触摸屏面板,操作简单

  • 分析管采用长寿命的镀氧化钍铱灯丝(内置两根)

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