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产品简介
产品介绍:
Agilent 7500 ICP-MS电感耦合等离子体质谱-ICP-MS,是一种新型的无机元素和同位素分析技术,可快速同时检测周期表上几乎所有元素。ICP-MS技术在分析能力上,超过传统的无机分析技术如电感耦合等离子体光谱技术(ICPAES)、石墨炉原子吸收(GFAAS)和汞冷原子吸收技术(CVAAS)的总和,被称为当代分析技术*激动人心的发展。
*近,与分离技术联用进行环境毒理、生命科学等领域的元素价态、形态分析成为ICP-MS技术应用的一个焦点。
产品参数:
● 可快速同时检测周期表上几乎所有元素
● *低的检出限(低至ppq级)
● 分析效益/成本比**
● *宽的线性动态范围—可直接检测从ppq到数百ppm浓度
● 谱线*简单、干扰*小,准确度和精密度好
● 需要样品量很低(ul至ml),分析速度很快(1~3分钟/样品)
● 检测模式灵活多样
半导体工业常用材料中超痕量污染物分析:
固体:Si;GaAa单晶切片;石英、碳化硅等炉材料;高纯金属电极等
液体:超纯水;HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水等
气体:SiH4;TE0S;NF3;N2等
Agilent ICP-MS可直接分析有机样品:
Agilent ICP-MS的高效能、高功率屏蔽矩冷等离子体技术已被用于测定一系列有机样品的ppt级痕量污染元素。
● 对其中一些样品,其他方法无法得到满意的结果,高功率屏蔽矩冷等离子体技术是**的分析方法。
● 强碱性清洗剂——四甲基氢氧化氨(TMAH)等
● 常用有机溶剂——甲苯、二甲苯、IPA等
● 高基体样品——光刻胶、液晶、BPSG、PSG等挥发性极强的清洗剂——丙酮、甲醇等。
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