OLS5000 3D测量激光显微镜可以精确地测量亚微米级的表面形状和粗糙度。图像采集速度比我们之前的型号OLS4100快四倍，大大提高了效率。

优异的平面分辨率

LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光学系统（彩色成像光学系统和激光共焦光学系统）让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。405nm紫色激光和专用高数值孔径物镜可以捕

捉到传统光学显微镜、白光干涉仪或红色激光显微镜无法发现的精细纹理和缺陷。

专用LEXT物镜

我们的专用LEXT物镜系列近期新增了提升测量性能的长工作距离物镜和普通工作距离的10倍物镜。所有专用LEXT物镜的测量性能均可获得保证。

4K扫描技术—检测陡峭斜面和近纳米级台阶的形貌

4K 扫描技术可在X轴方向扫描4096像素，是传统机型的四倍。由此提高了高度测量的可靠性，改善了分辨率，信噪比提升了两倍。OLS5000显微镜无需图像处理就能检测几乎垂直的陡峭斜面和极低的台阶。

可准确测量高达87.5° 的大角度斜面。

快速、精确的测量——PEAK算法

OLS5000 3D测量激光显微镜采用了用于 3D 数据构建的 PEAK 算法。该算法可获得从低倍率到高倍率的高精度数据，并可缩短数据采集时间。

VLSI 标准样品/ 80nm台阶 (MPLFLN10XLEXT)

简单分析

简单分析功能可仅在指定测量范围内测量台阶、线宽、表面粗糙度和体积。自动检测测量结果变动的原因（如体积分析中参考平面的边缘位置和阈值）让测量结果保持稳定，不受操作员技能水平的影响。

扩展架—可检测**210毫米高度的样品

载物台上可放置**高度210毫米的样品。重复性和准确性等测量性能均确保与标准机台相同。