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扩散炉/LPCVD/diffusion and LPCVD Furnace
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§ General Description

§ The Loadstation§ The Furnace§ PC-MUX Controller§ Gas Source Cabinet§ Scavenger§Robotics/Automation

§ Thermco5000 Series5000series was developed for 150mm wafer processingUp to1016 mm flat zone (5200 model)Typically4 tubes per stackNormallyconfigured for semi-automatic loading§ Thermco8000 Series8000Series is Thermco’s largest furnace systemDevelopedfor 200mm wafersUsedin PV production for 156x156mm cellsUp to5 tubes in one stackCanbe configured for full automationUp to1100 mm flat zone (8200 model)

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