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XP-703D半导体特气检漏仪
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日本
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  • 二氧化氯检测仪

日本新宇宙半导体特气检漏仪XP-703D/XP-703D半导体特气检漏仪/气检漏仪XP-703D

XP-703D(自动吸引式)半导体特气检漏仪 /

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技术参数:

  • 二氧化氯检测仪

XP-703D半导体特气检漏仪技术参数:

型 号

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)

检测原理

热线型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度

(单位:ppm)

砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气

AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2

0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10秒以内

主要特点:

  • 二氧化氯检测仪

XP-703D半导体特气检漏仪产品特点:

1.*适合于检测半导体特气的微量泄漏。

2.采用声光报警。

  • 二氧化氯检测仪
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