用超越激光衍射极限的系统来研究样品NTEGRA Spectra 在检测样品时，通过扫描近场光学显微术能提供超越激光光学衍射的光学分辨率。支持两种不同的SNOM方式：光纤式SNOM和悬臂梁式SNOM所有的SNOM功能模式：透射模式，反射模式，收集模式。

所有SNOM的信号都可以被检测：激光强度，荧光强度，光谱信号等。

SNOM刻蚀：矢量式，光栅式。