三维轮廓仪NanoMap-D

NanoMap-D三维表面轮廓仪是用于表面结构测量和表面形貌分析的一款测量计量型设备。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。 该款仪器可以看做是表面研究的万用表，采用接触式和非接触式功能集于一身的设计特点，弥补两种模式的局限，发挥表面形貌仪的测量极限。光学非接触式有速度快，直接三维成象，不破坏样品等特点。探针接触模式方便快捷，制样简单，测量材料广泛。两种模式相结合可以对更多形状、性状、材质的试样进行表面形貌的研究。

该轮廓仪测量表面可以覆盖90%以上材料表面。设备传感器精度高，稳定性好，材料应用面广。热噪声是同类产品*低的。垂直分辨率可达0.01 nm ( phase-shift mode) 可测跨学科、跨领域的各种样品表面，包括透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿等)；

1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等

2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图， 轮廓线等

3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量

5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量

6、微电子表面分析和MEMS表征

主要特点：

高精度

**的纵向分辨率：0.1 nm (接触式)；0.01nm（光学非接触式）

对周围环境和光源的强适应性强

宽阔的垂直测量范围

多种选择光学头及接触式

纵向扫描范围 20um to 10mm

图像；缝合技术使再大的表面也能呈现在一幅图像内

试用于几乎所有的表面

透明，不透明，反射光强等多种材料

垂直台阶，高宽深比，隆起，孔洞

脆性的材料，软材料，柔性材料表面

尖锐的，坚硬的，磨损的表面

适应性强

白光光源，人体安全设计，长寿命白光LED 免维护。可以用于各种环境的实验室，甚至工业生产环境。

接触式轮廓仪和非接触式轮廓仪技术的**结合

接触式轮廓仪针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10umX10um 到500um X500um。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。

在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察

针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围

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XP-1/XP-2；XP-100(D100)/XP-200(D120)/XP-300；α-step IQ(100，200，250，500)；α-step P6；α-step P16+(P1，P2，P10，P11，P11，P15)；α-step P16+0F； KLA-Tencor

光学轮廓仪(白光干涉仪/ 移相干涉仪)；MicroXam 100；MicroXam 1200