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研究级Axio Imager Vario正置式显微镜
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德国
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产品简介

Axio Imager.Vario具有宽大样品空间,十分适合于半导体行业(比如太阳能电池、晶圆加工检测、平板显示器(FPD))成产的材料检测、工艺研发,以及在线检测。

技术参数

1、物镜:5x、10x、20x、50x、100x(可选1.25x,2.5、150x,可选LD功能)。

2、目镜:放大10x(可选16x、25x);视场数23(可选25)。

3、物镜自动聚焦**行程:5mm。

4、样品空间深度(光轴到立柱的距离);385mm。

5、载物台行程:

透反两用手动载物台,200mmX200mm移动范围;

反射光用手动载物台,300mmX300mm移动范围;

透反两用电动载物台,200mmX200mm移动范围;

透反两用电动载物台,反射光用时300mmX300mm移动范围,透射光用时200mmX200mm移动范围。

6、显微镜模块质量:17.5到20kg。

7、光源:12V100W卤素灯,智能化光路管理器,光强色温自动可调。

8、可扩展性:可选自动聚焦,可选透射光路。

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