技术优势

1.可进行硅舟结构的定制化设计，包括沟棒形状，沟齿长度、形状、倾斜角度，以及硅舟的总载片量。

2.高温硅舟可以有效减少硅片的接触损伤，提升制程良率。

3.熔接硅舟可以对损坏部件进行更换，降低持有成本。

4.硅舟拥有较大的多晶硅沉积上限，可以有效减少设备PM频率，提升产能。