■ ESDP干式螺杆泵的应用范围

　　●ESDP系列在半导体合成及液晶生产上的应用，主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺，液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流为0，以保护工件免受污染。

　　● 在石油化工中，主要是抽取可凝性气体，或有毒气体，或腐蚀性气体，或含有微尘的气体。

　　●制药行业，用于药物的真空干燥，药物中间体回收，回收气体消毒剂，为人造器官提供清洁无菌条件等。

　　●化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工艺

　　●工业排气;集中式真空处理系统

　　●挤出机的混合工艺及板材的排气工艺

　　●混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染，及喷射器中的阻塞物

　　●食品行业用于香料、香精浓缩，食品包装等。

　　■ ESDP干式螺杆真空泵技术参数

　　如需得到更为详细的信息，请咨询客服。

　　■ ESDP干式螺杆真空泵标准配件

　　基座和防护罩

　　排气消声器及进气分离器

　　吸气口

　　止回阀

　　真空计

　　■ ESDP干式螺杆真空泵可选配件

　　吸滤器

　　排气冷凝器

　　吸入式气液分离器

　　流量开关及温度开关