优化的气密性，适合中真空和高真空应用

可靠

实心叶片设计，结构坚固，在不同的运行条件下十分可靠，密封防漏，并配备阻隔气体连接件

性能出色

**的容积效率、高极限压力、集成旁通阀，专为中高真空应用而设计，包括：太阳能、平板和半导体工艺

灵活

可以直接通过法兰连接到系统中的任何位置，提升所有类型的前级泵的性能，纵向或横向排放