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单向退火炉
退火目的是什么?在高温(1750)加热状态下，通过高温促使晶体晶格打乱后重新排列，同时清除一些晶格内部缺陷，从而释放内部应力，为后续加工奠定良好的基础。晶体退火恒温时间为36小时，每炉次退火时间为5天左右。退火后的晶棒在切割完成后，晶片翘曲低于1丝，线小于2室米、内应力、崩边现象及线痕度得到很大的提升，加工后的晶片成品率也达到了95%以上。成品率提高了，成本又降低了很多，同时延长了晶棒的切割线的使用寿命.
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