◆ 设备采用分段式高纯度石墨电阻加热及热场结构，温场均匀性好；

◆ 通过气流路径优化与热场防护技术，具有高腐蚀性气氛下排杂、杂质的定向沉积与热场稳定的特点；

◆ 可满足高品质碳化硅原料合成;设备**装料量达到100KG，大幅提升了原料合成效率。