石墨托盘

技术

1)用于LED外延片加工石墨顶板;

2)挡板结构内部晶片边缘休息;

3)挡板与晶片衬底到两个层次之间的互补关系;

4)保持挡板晶片衬底边缘重合边构成充分循环。