​随着我国科学技术和新型材料等产业的快速发展，高纯气体作为保护气在超大规模集成电路、激光材料、光导纤维、航空航天材料等领域都有着重要的应用。氧气作为一种化学活性较强的物质，其含量是检测高纯气体质量的重要指标，所以控制和检测氧气含量的关键因素是高纯气体作为保护气。 在我国国家标准中，对高纯气体的质量要求