致真设备还推出了多款互联设备实现多个系统的互联，适用于2~8英寸的晶圆。通过真空泵组搭配可实现晶圆的超高真空传输。根据需求可以选择两套系统直接相连，成本较低且运行可靠。也可以通过圆形互联系统实现多个系统相连，通过选配进样室可以实现超高真空过渡，减少对镀膜系统的污染。