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MW-1070微波等离子设备——10kw
MW-1070微波等离子设备——10kw的图片
参考报价:
面议
品牌:
稳正科技
关注度:
368
样本:
暂无
型号:
MW-1070微波等离子设备——10kw
产地:
四川
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暂无
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产品简介

生长台尺寸:φ100mm  

控制方式:触摸屏控制,PLC工艺菜单运行(手动或自动)

微波电源: MUEGGE  10KW 2.45GHz    

真空泵:Leybold D16C  /  KYKY RV-4三相旋片泵

流量计:日本KOFLOC

H2(1000sccm) 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2(10sccm)

腔体冷却方式:水冷

测温:红外测温仪300-1400℃

机台尺寸:1215mm(长)*1114mm(宽)*2000mm(高)

供电:380V  三相五线

能耗:16kw


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