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产品简介
生长台尺寸:φ100mm
控制方式:触摸屏控制,PLC工艺菜单运行(手动或自动)
微波电源: MUEGGE 10KW 2.45GHz
真空泵:Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泵
流量计:日本KOFLOC
H2(1000sccm) 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2(10sccm)
腔体冷却方式:水冷
测温:红外测温仪300-1400℃
机台尺寸:1215mm(长)*1114mm(宽)*2000mm(高)
供电:380V 三相五线
能耗:16kw
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