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名 称:上海皓固机械工业有限公司认 证:工商信息已核实
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产品分类
产品简介
产品特点
• 超高纯度气体终端适用于所有气体输送系统
100TG:≤30 slpm (1/4 " VFS)
200TG:≤300 slpm (3/8”VFS)
300TG:≤600slpm (1/2 " VFS)
• 控制精度高
• 所有连接端口使用焊接或VFS接头
• 手动或气动隔膜阀选择
• 100%氦泄漏测试
技术参数
• 进气压力P1: 300 psig
• 出气压力P2: 30/60/100/150 psig
隔膜阀材质
• 母体: 316L
• 阀座: PCTFE
• 膜片: Elgiloy®
监管机构材质
• 母体: 316L / 316L secondary remelt
• 阀座: PCTFE
• 膜片: Hastelloy® C276
• 泄漏率: (外部) 1x10-9 mbar I/s He
(内部) 1x10-8 mbar I/s He
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