微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 

—— C型

    一款先进的微波等离子体化学气相沉积装置。微波输入采用下馈的方式，为腔体结构的优化提供了可能性。

该装置可以再相对大面积的衬底上进行金刚石单晶和多晶生长。