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产品详情
PU21系列小流量高纯减压器
PU21系列小流量高纯减压器的图片
参考报价:
面议
品牌:
洁安流体
关注度:
423
样本:
暂无
型号:
PU21系列小流量高纯减压器
产地:
上海
信息完整度:
典型用户:
暂无
流动方向:
其他
连接通道:
其他
驱动方式:
其他
连接方式:
其他
材质:
其他
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高级会员 第 1
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认 证:工商信息已核实
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产品简介

结构特点 Features                                           

 ◆ 金属膜片密封 ,提高产品的洁净度与泄漏率

◆ 流道内部电解抛光粗糙度:EP: Ra 5 μin BA: Ra 10μin

◆ 母体螺纹:1/4"JFS接头

◆ 内部容积:0.49in³filename

◆ *大流量:标准:30 SLPM,高流量 HF:120 SLPM

◆ 设计验证压力:*大额定压力的150%

◆ 设计爆炸压力:*大额定压力的300%

◆ 100%出厂氦气测试


产品应用 Product application

◆ 腐蚀性和特殊气体

◆ 半导体行业

◆ 研究实验室

◆ 化学工业


技术参数 Specifications

◆ 母体 :SS316L ,SS316L VIN/VAR ,Hastelloy®C22

◆ 阀座: PCTFE,Vespel®

◆ 膜片 :SS316L,Hastelloy®C22合金

◆ 进气压力:300, 3500psig

◆ 出气压力:10,15,25, 50, 100, 150psig

◆ 工作温度:PCTFE:- 10℃至80℃ ( 14℉至176℉)  

                   Vespel®:- 26℃至177℃ ( 15℉至350℉)

◆ 泄漏率:

              内漏2x10-10 sccs He

              外漏2x10-9 sccs He

◆ 流量参数:Cv =0. 09 HF Cv=0.15

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