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名 称:上海洁安流体科技有限公司认 证:工商信息已核实
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产品分类
产品简介
结构特点 Features
◆ 金属膜片密封 ,提高产品的洁净度与泄漏率
◆ 流道内部电解抛光粗糙度:EP: Ra 5 μin BA: Ra 10μin
◆ 母体螺纹:1/4"JFS接头
◆ 内部容积:0.49in³
◆ *大流量:标准:30 SLPM,高流量 HF:120 SLPM
◆ 设计验证压力:*大额定压力的150%
◆ 设计爆炸压力:*大额定压力的300%
◆ 100%出厂氦气测试
产品应用 Product application
◆ 腐蚀性和特殊气体
◆ 半导体行业
◆ 研究实验室
◆ 化学工业
技术参数 Specifications
◆ 母体 :SS316L ,SS316L VIN/VAR ,Hastelloy®C22
◆ 阀座: PCTFE,Vespel®
◆ 膜片 :SS316L,Hastelloy®C22合金
◆ 进气压力:300, 3500psig
◆ 出气压力:10,15,25, 50, 100, 150psig
◆ 工作温度:PCTFE:- 10℃至80℃ ( 14℉至176℉)
Vespel®:- 26℃至177℃ ( 15℉至350℉)
◆ 泄漏率:
内漏2x10-10 sccs He
外漏2x10-9 sccs He
◆ 流量参数:Cv =0. 09 HF Cv=0.15
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