鹏城微纳技术(沈阳)有限公司
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鹏城微纳技术(沈阳)有限公司(简称:鹏城微纳),公司依托于哈尔滨工业大学(深圳),具备先进的半导体研发设备平台和检测设备平台,可以在高起点开展科研工作。公司总部位于深圳市,具备半导体装备的研发、生产、调试以及半导体材料与器件的中试、生产、销售的能力。
公司核心业务是半导体衬底材料的研发与制造,半导体外延片的研发与制造,半导体工艺装备的研发与制造。包括了半导体装备(工业母机)研发、生产制造和销售;主要是PVD、CVD和MBE系列设备;热丝CVD金刚石工艺研发、金刚石工艺装备的设计制造和销售;重点是研发微米晶、纳米晶金刚石晶圆片和工业母机的研发制造;以产学研的模式,围绕第二代、第三代、第四代半导体,开展半导体材料制备和工业母机的研发和中试,研发设计自主可控的成套工艺装备和关键零部件,研发设计自主可控的半导体衬底材料和外延片。