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产品分类
产品简介
AMT 系列
工业高功率全系列皮秒激光器
****的266nm倍频技术
可靠的功率稳定性
优越的光束质量(M²<1.3)
支持SYNC同步输出功能
支持沿触发、电平触发控制
高达90%以上的光斑圆度
概述应用
AMT深紫外皮秒激光器拥有****的四倍频换点功能,能保证换点后光束质量、光斑大小、光束指向性不 变,提高机器稳定性。同时拥有全新设计的光学系统具有可靠的功率稳定性<3%,优越的光束质量(M²<1.3)
和**的光斑圆度(>90%), 可输出深紫外波长266nm,功率**可达3W以上,实现优异的激光微加工质量。
AMT-266皮秒激光器拥有自研高性能高可靠性的核心模块,如超快种子源、非线性晶体的高温加热炉等,保 证了整机系统的长期可靠性,实现单点寿命大于1000hrs,整机寿命大于20000hrs;拥有空气洁净系统,可
以对腔内进行清洁维护,延长晶体使用寿命。
AMT深紫外激光器支持多触发模式可选,具备同步输出功率,内置功率检查模块,是性能与稳定性的**结 合。深紫外激光器广泛应用于蓝宝石GaN分离、无碳化冷加工、玻璃晶粒分离等领域。AMT-266-3W-70M激
光器主要应用于28nm及以下节点制程的芯片缺陷检测,也可应用于大口径光学元件表面形貌检测、高分子 材料切割和高密度信息存储等领域。
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