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产品简介
产品详情
1、相较现有立式外延炉有更低的硬件成本,更小的占地面积;
2、兼容4/6寸晶圆外延生长,成膜质量好,可实现厚外延层快速生长；
3、更长的维护周期,更低的耗材成本；
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