宁波爱发科真空技术有限公司
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产品详情
NRL180A干式真空泵
NRL180A干式真空泵的图片
参考报价:
面议
品牌:
宁波爱发科
关注度:
270
样本:
暂无
型号:
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
产地:
浙江
信息完整度:
典型用户:
暂无
泵轴位置:
其他
驱动方式:
其他
连接方式:
其他
材质:
其他
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认证信息
高级会员 第 1
名 称:宁波爱发科真空技术有限公司
认 证:工商信息已核实
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产品简介

特长

NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。

低噪音、低振动

优良的耐腐蚀性

标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。

选购件

可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。


用途

•  活性气体(CVD、刻蚀等)。

•  排出非活性气体(溅射镀膜、   蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)。

•  用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)

•  作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)。

•  冷冻干燥等水蒸气排气。

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