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产品简介
产品性能:
应用于半导体行业LED、多用于MOCVD、HVPE(GaN工艺)废气处理
多级喷淋,使易溶于水或与配置溶液反应生成沉积的物质,以达到有毒腐蚀气体的回收,达标气体的安全排放
处理能力,科研型:50SLM,生产型:100/400-1500SLM
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