认证信息
高级会员 第 1 年
名 称：北京泰科诺科技有限公司认 证：工商信息已核实
访问量：5747
手机网站
扫一扫，手机访问更轻松
产品分类
产品简介
基片台尺寸：抽屉式：150mm×120mm 可旋转、升降
膜厚不均匀性：≤ ±5.0%（120mmx120mm 范围内）
溅射靶：6英寸3只
溅射靶电源：1台RF，2台DC
控制方式：PLC/PC 控制 ( 可选 )
占地面积：L2500mmxW1600mmxH1900mm ( 不含手套箱 )
总功率：≥15kW 三相五线制
- 推荐产品
- 供应产品
- 产品分类