功能：2~4寸蓝宝石衬底片和视窗片退火前刷洗

本设备为人工将蓝宝石晶圆片放入刷洗腔内，盖上盖子，按启动按钮，按设定好的刷洗时间进行活性剂喷淋刷洗，纯水喷淋刷洗，清洗结束报警，打开盖子取出晶圆片。