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名 称:泽鸿半导体设备科技(苏州)有限公司认 证:工商信息已核实
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产品分类
产品简介
设备概述
批次生产型高真空蒸发镀膜设备,用于在基板表面沉积各种金属薄膜(Ti\Ni\Ag\Cr\A|等)满足 2-12inch Wafer 生产需求,适合大批量金属沉积工艺或者 Lift off 工艺。
技术特点
双冷泵配置,快速高效排气,超大腔体设计,大产能优势,低材料消耗,低成本生产。
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