型号：IBSV-1030    特点：a)基板垂直放置，水平监控；b)转靶左右可调，保证靶面中心和离子源**距离；c)基板：12吋×1 ;d)靶材：两靶或三靶可更换；e)多光路监控。f)工件夹具：12吋工艺参数：1）真空系统a)极限真空度：4.0×10-5Pa b)抽至10Pa所用时间 10 Pa：≦ 10 分钟c)漏率：3.0×10-5Pa m3/s 2）控制精度a)靶材旋转：0.005°b)工件旋转: <1000RPMc)编码器Encode: 12000lines;480000Counts/revd)膜厚修正板：0.005°e)挡板:  position switch3）光学监控系统OMSa) 波长范围：380nm～1650nmb) 光源稳定性 :白光< 0.1%，激光< 0.02%c) 波长分辨率: 白光0.2nm，激光0.1nmd) 波长准确度: 白光0.2nm ，激光0.1nm