指标表

典型应用

• 应用于半导体、LED/激光、太阳能光伏行业

• 气体行业

工艺介绍

• PH7-H：通过吸附工序，脱除气体中的O₂、H₂O、CO₂等杂质，通过吸气柱脱除N₂、CH₄；

• PH7-H-A: 通过吸附工序,深度脱除气体中的O₂、H₂O、CO₂、CO 等杂质；

• 吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用；

• PH-L: 通过低温吸附工序，深度脱出气体中的N₂、Ar、O₂、H₂O、CO、CO₂等杂质。