上海至纯系统集成有限公司(以下称至纯集成)成立于2010年9月7日，注册资本为15000.0000万元整，是上海至纯洁净系统科技股份有限公司全资子公司，目前公司坐落于闵行区紫竹高新区的高新技术企业。

至纯集成致力于为泛半导体产业提供超高纯度的工艺介质系统，至今已经出货各类高纯特气设备和高纯化学品设备超过16000台，为各个FAB厂提供干法和湿法工艺机台支持系统，至纯集成建设的**用于12英寸先进制程晶圆厂的大宗气体站将于2021年10月开始供气。通过不断地产品创新、研发设计提升产品的用户体验，为客户和用户持续创造价值。公司自成立以来，始终致力于高纯工艺系统从设计制造到安装调试的交付，目前高纯工艺系统业务线趋势呈持续增长，其中涉及的气体及化学品支持设备业务国产替代进展顺利，已经成为主流集成电路制造用户的认定品牌且出货量陡增。


把人才放在**位，至纯集成始终把人才作为企业发展的动力源泉，非常重视人才的选、育、用、留。目前公司拥有众多行业专家人才，技术人员大多拥有相关领域全球**企业的从业经历，技术实力强、管理水平高。公司通过打造明确的上升通道和施展能力的平台空间，并提供了全面的保障措施，充分保障每个成员迅速成长，并为公司积累大量人才。

经过12年的发展，凭借优秀的产品质量和对社会责任的担当，公司通过不断提高产品质量和服务水平，在行业内取得了良好的口碑和信誉，积累了一大批高端客户和合作伙伴，服务对象基本为各自行业的领军企业或主要企业。