硅碳负极流化床是一种用CVD气相沉积和包覆硅碳负极材料的生产装置。利用载气通过气体分布器将多孔碳粉体在反应容器内流化，

再将含硅气体原料经过流量配比，混合后进入反应容器；在高温下含硅气体原料裂解为硅和氢，

硅原子沉积在多孔碳孔道内形成为纳米硅。沉积完成后，再次升温通入乙炔进行高温裂解，完成碳包覆处理。